1. 개요Conversion Factor (C.F)는 특정 가스로 교정된 MFC(Mass Flow Controller) 또는 MFM(Mass Flow Meter)를 다른 가스로 사용할 경우, 실제 유량을 보정하기 위해 사용하는 보정 계수이다. 예를 들어, 질소(N₂)로 보정된 MFC를 이산화탄소(CO₂)로 사용할경우, 실제 유량은 표시 유량 × C.F로 계산된다. 따라서 다양한 가스를 사용하는 실험, 제조 공정에서 정확한 유량 제어를 위한 핵심정보이다.2. KOFLOC MFC – 가스별 Conversion FactorGas NameChemical SymbolC.FAirAir1.00NitrogenN₂1.00OxygenO₂1.00ArgonAr1.44HeliumHe1.43HydrogenH₂1.02Carbon ..
