MFC /MFM 가스별 Conversion Factor 안내 – KOFLOC / Siargo

1. 개요

Conversion Factor (C.F)는 특정 가스로 교정된 MFC(Mass Flow Controller) 또는 MFM(Mass Flow Meter)를 다른 가스로 사용할 경우, 실제 유량을 보정하기 위해 사용하는 보정 계수이다. 예를 들어, 질소(N₂)로 보정된 MFC를 이산화탄소(CO₂)로 사용할경우, 실제 유량은 표시 유량 × C.F로 계산된다. 따라서 다양한 가스를 사용하는 실험, 제조 공정에서 정확한 유량 제어를 위한 핵심정보이다.

2. KOFLOC MFC – 가스별 Conversion Factor

Gas Name	Chemical Symbol	C.F
Air	Air	1.00
Nitrogen	N₂	1.00
Oxygen	O₂	1.00
Argon	Ar	1.44
Helium	He	1.43
Hydrogen	H₂	1.02
Carbon Dioxide	CO₂	0.74
Carbon Monoxide	CO	1.00
Methane	CH₄	0.76
Ethane	C₂H₆	0.52
Propane	C₃H₈	0.34
Ammonia	NH₃	0.56
Acetylene	C₂H₂	0.63
Nitric Oxide	NO	0.99
Sulfur Dioxide	SO₂	0.70
Xenon	Xe	1.50
Krypton	Kr	1.42
Hydrogen Sulfide	H₂S	0.83
Carbon Tetrafluoride	CF₄	0.42
Sulfur Hexafluoride	SF₆	0.26

※ 기준 가스는 공기 (Air = 1.00)이며, 실제 유량 = 표시 유량 × (C.F / 기준 가스 C.F)

 

3. Siargo MFM – 가스별 Conversion Factor

가스명	화학식	C.F
공기	Air	1.000
질소	N₂	1.000
산소	O₂	1.000
알곤	Ar	1.180
헬륨	He	4.200
수소	H₂	4.500
아산화질소	N₂O	0.720
이산화탄소	CO₂	0.670
메탄	CH₄	0.830
크립톤	Kr	1.540
제논	Xe	1.320

Siargo 제품은 MEMS 센서 기반의 **MFM(Mass Flow Meter)**로,
C.F는 각 가스의 열전도율, 밀도 등 물성에 따라 정의됨.
기준 가스는 Air 또는 N₂ = 1.000 기준임

4. 활용 시 유의사항

• C.F는 센서 구조, 보정 방식에 따라 제조사별로 차이가 있음
• 혼합 가스의 경우, 개별 성분의 가중평균 또는 별도 조성 기반 계산 필요
• 실제 유량 제어가 필요한 경우, C.F를 곱한 계산 유량으로 설정할 것

 

 

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